Litho Research Group

科研项目：

①2023.12 - 至今，浙江大学集成电路学院CMOS平台建设青年科研专项，光刻工艺关键问题研究，主持 

CMOS Platform Construction Program for Young Scholars,   College of Integrated Circuits, Zhejiang University

②2024.01 - 至今，浙江省自然科学基金联合基金项目，基于物理约束神经网络的先进光刻工艺窗口分析方法研究，主持

Joint Funds of the Natural Science Foundation of Zhejiang Province of China

研究条件：

浙江省集成电路创新平台拥有12吋光刻工艺相关的匀胶显影（Track）、曝光（Scanner）、光刻胶去胶、去胶后清洗、关键尺寸扫描电子显微镜、套刻误差量测、膜厚量测、全自动晶圆表面检测等机台。课题组已购置两台服务器，分别用于工艺仿真和机器学习。

推荐书籍：

韦亚一, 《超大规模集成电路先进光刻理论与应用》, 科学出版社, 2016.
伍强, 《衍射极限附近的光刻工艺》, 清华大学出版社, 2020.
贾新章等, 《统计过程控制理论与实践——SPC, Cpk, DOE, MSA, PPM 技术》，电子工业出版社，2017.
蒙哥马利（傅钰生等译），《实验设计与分析（第6版）》，人民邮电出版社，2009. 
韦恩·C·布斯等（何卫宁译），《研究是一门艺术（第4版）》，新华出版社，2019.  The Craft of Research

推荐视频：

光刻机 https://www.bilibili.com/video/BV1Hq4y1674k
CMOS 平面工艺 https://www.bilibili.com/video/BV1kg411W7gR
芯片简史 https://www.bilibili.com/video/BV1Ym4y1x733 
https://www.bilibili.com/video/BV1Xm4y157J6

推荐文章：

https://mp.weixin.qq.com/s/en2fYwje_QYXSKiRN79XSg
https://mp.weixin.qq.com/s/8vJiNHiOjO3G8S8eV8GjIQ

领域会议：

Conference of Science & Technology for Integrated Circuits (CSTIC)

推荐预学课程：

①文献检索：

《文献管理与信息分析》https://www.xuetangx.com/course/USTC12051000588/14768313

研究生读文献的原则与实操演示 https://www.bilibili.com/video/BV1Wp421m7ah/

如何吃透一篇文献 https://www.bilibili.com/video/BV1Yj421R7Bb/

如何做好文献阅读及笔记整理 https://www.bilibili.com/video/BV17W4y167SM/

②科研绘图：

Origin绘图 https://www.bilibili.com/video/BV1UR4y157aF/

③专利论文撰写：

•浙江大学图书馆专利申请与写作 https://www.bilibili.com/video/BV1X7411b7GN/

•手把手教你如何拥有自己的第一个专利 https://zhuanlan.zhihu.com/p/143851930

•SCI论文写作 https://www.bilibili.com/video/BV1rz4y1w7LB/

https://www.bilibili.com/video/BV1RK421e7nD

https://www.bilibili.com/video/BV1gZ421t7Kw

•大论文写作：https://www.bilibili.com/video/BV1bG4y117Ra

④仿真：

光学仿真

COMSOL Multiphysics或Ansys Lumerical

黄奕勇等，《COMSOL多物理场仿真入门指南》，机械工业出版社，2021.

流体力学仿真

ANSYS Fluent或OpenFOAM

⑤编程：

Python：文件交互、数据可视化、神经网络（PyTorch）

https://www.icourse163.org/course/BIT-1001870002

⑥实验设计

https://www.bilibili.com/video/BV1ao4y1C7Pp/

⑦其他

https://yu-haoran.github.io/Resources.html 

光刻研究小组

如果你对集成电路制造中的光刻工艺感兴趣，如果你有数学（数学建模、大数据统计分析）、物理（物理模型）、光学（光学仿真）、算法（PINN）的学习或研究经历，欢迎加入我们，一起研究挑战光刻工艺中的智能制造难题。

欢迎提前沟通联系，联系时请陈述研究生阶段的规划和预期（建议500字以内，最关注，第一考虑因素），并请提供两名推荐人的联系电话（包括老师和同学，无需推荐信）。欢迎提供在光刻工艺智能制造方向的文献调研和研究计划、简历（重点陈述与研究计划相关的详细研究经历/成果，可以是视频或PPT等方式）、成绩单等。

联系方式：

gdzhou [at] zju [dot] edu [dot] cn

Lastly updated: 5-April-2024