Litho Research Group
科研项目:
①2023.12 - 至今,浙江大学集成电路学院CMOS平台建设青年科研专项,光刻工艺关键问题研究,主持
CMOS Platform Construction Program for Young Scholars, College of Integrated Circuits, Zhejiang University
②2024.01 - 至今,浙江省自然科学基金联合基金项目,基于物理约束神经网络的先进光刻工艺窗口分析方法研究,主持
Joint Funds of the Natural Science Foundation of Zhejiang Province of China
研究条件:
浙江省集成电路创新平台拥有12吋光刻工艺相关的匀胶显影(Track)、曝光(Scanner)、光刻胶去胶、去胶后清洗、关键尺寸扫描电子显微镜、套刻误差量测、膜厚量测、全自动晶圆表面检测等机台。课题组已购置两台服务器,分别用于工艺仿真和机器学习。
推荐书籍:
韦亚一, 《超大规模集成电路先进光刻理论与应用》, 科学出版社, 2016.
伍强, 《衍射极限附近的光刻工艺》, 清华大学出版社, 2020.
贾新章等, 《统计过程控制理论与实践——SPC, Cpk, DOE, MSA, PPM 技术》,电子工业出版社,2017.
蒙哥马利(傅钰生等译),《实验设计与分析(第6版)》,人民邮电出版社,2009.
韦恩·C·布斯等(何卫宁译),《研究是一门艺术(第4版)》,新华出版社,2019. The Craft of Research
推荐视频:
光刻机 https://www.bilibili.com/video/BV1Hq4y1674k
CMOS 平面工艺 https://www.bilibili.com/video/BV1kg411W7gR
芯片简史 https://www.bilibili.com/video/BV1Ym4y1x733
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推荐文章:
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领域会议:
Conference of Science & Technology for Integrated Circuits (CSTIC)
推荐预学课程:
①文献检索:
《文献管理与信息分析》https://www.xuetangx.com/course/USTC12051000588/14768313
研究生读文献的原则与实操演示 https://www.bilibili.com/video/BV1Wp421m7ah/
如何吃透一篇文献 https://www.bilibili.com/video/BV1Yj421R7Bb/
如何做好文献阅读及笔记整理 https://www.bilibili.com/video/BV17W4y167SM/
②科研绘图:
Origin绘图 https://www.bilibili.com/video/BV1UR4y157aF/
③专利论文撰写:
•浙江大学图书馆专利申请与写作 https://www.bilibili.com/video/BV1X7411b7GN/
•手把手教你如何拥有自己的第一个专利 https://zhuanlan.zhihu.com/p/143851930
•SCI论文写作 https://www.bilibili.com/video/BV1rz4y1w7LB/
https://www.bilibili.com/video/BV1RK421e7nD
https://www.bilibili.com/video/BV1gZ421t7Kw
•大论文写作:https://www.bilibili.com/video/BV1bG4y117Ra
④仿真:
光学仿真
COMSOL Multiphysics或Ansys Lumerical
黄奕勇等,《COMSOL多物理场仿真入门指南》,机械工业出版社,2021.
流体力学仿真
ANSYS Fluent或OpenFOAM
⑤编程:
Python:文件交互、数据可视化、神经网络(PyTorch)
https://www.icourse163.org/course/BIT-1001870002
⑥实验设计
https://www.bilibili.com/video/BV1ao4y1C7Pp/
⑦其他
https://yu-haoran.github.io/Resources.html
光刻研究小组
如果你对集成电路制造中的光刻工艺感兴趣,如果你有数学(数学建模、大数据统计分析)、物理(物理模型)、光学(光学仿真)、算法(PINN)的学习或研究经历,欢迎加入我们,一起研究挑战光刻工艺中的智能制造难题。
欢迎提前沟通联系,联系时请陈述研究生阶段的规划和预期(建议500字以内,最关注,第一考虑因素),并请提供两名推荐人的联系电话(包括老师和同学,无需推荐信)。欢迎提供在光刻工艺智能制造方向的文献调研和研究计划、简历(重点陈述与研究计划相关的详细研究经历/成果,可以是视频或PPT等方式)、成绩单等。
联系方式:
gdzhou [at] zju [dot] edu [dot] cn
Lastly updated: 5-April-2024