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磁性MEMS器件集成制造及应用

简介 磁性MEMS器件集成制造及应用

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实验室简介

杨真,博士,副教授,研究生导师,院长助理,广西教育厅学位中心评估专家、国家教育部学位中心评估专家。Sensors编委,Micromachine客座编委,《磁性材料与器件》编委,《微纳电子技术》编委,中国微米纳米技术学会高级会员,全国磁性材料与器件专家委员会会员,香港机械工程师协会高级会员。广西师范大学电子与信息工程学院/集成电路学院,广西类脑计算与智能芯片重点实验室,广西高校集成电路与微系统重点实验室核心骨干。上海交通大学博士,南方科技大学访问学者,俄罗斯乌拉尔联邦大学、葡萄牙里斯本微系统与纳米技术研究所博士后,新加坡国立大学访问学者。主要从事基于MEMS技术的磁敏器件的研发以及应用研究。在国际著名学术期刊Sensors and Actuators B、Microchimica Acta、Biosensors and Bioelectronics、Biomedical Microdevices、Sensors、Analytical Methods、Applied Physics Letters已发表学术论文50余篇,引用近700次,申请中国发明专利2项,合著专著2部(章)。主持完成俄罗斯乌拉尔联邦大学博士后项目,河南省高层次人才海外培养项目,河南省自然科学基金面上项目,河南省留学人员科技择优资助项目等。目前主持在研桂林市重点研发计划项目1项,广西科技人才专项项目1项,贵州航天计量测试技术研究所外协项目1项,广西自然科学基金面上项目1项,企业横向项目1项,区教改项目2项,校级教改项目2项。作为核心成员参与欧盟2020地平线项目、国家自然科学基金面上,国家科技支撑计划项目,民用航天项目,航天支撑技术基金项目等10余项重大科研项目。担任Lab on a chip,Sensors and Actuators: B. Chemical,ACS applied materials & interface, Journal of Biotechnology, Nano Research,IEEE Sensors Letters,Analytical Biochemistry等期刊的审稿人。担任南方科技大学客座助理研究员,俄罗斯乌拉尔联邦大学客座副研究员,俄罗斯波罗的海联邦大学客座助理研究员。已培养硕士研究2名,海外指导研究生1名,博士1名。目前独立指导研究生8名。

磁性MEMS是指将磁性材料融入到MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术中或利用MEMS技术制造基于电磁原理的MEMS器件和系统。磁性MEMS传感器件集成制造及应用课题组主要研究基于MEMS工艺的新型磁敏传感器的微型化集成制造技术,包括磁通门传感器Fluxgate、巨磁阻传感器GMR、巨磁阻抗传感器、磁隧道传感器、磁致伸缩传感器。重点探索磁敏传感器在生物医疗、食品安全检测、压力传感、电流检测、无损检测等方面的应用。具体研究方向如下:

1. Fluxgate、GMR、GMI、TMR微型化集成制造技术

2. 癌症标志物的快速灵敏检测(心血管疾病、前列腺癌、鼻咽癌、卵巢癌等)

3. 食品中致病性微生物的快速检测(大肠杆菌、沙门氏菌、炭疽杆菌)

4. 电流检测,压力传感检测,无损检测

5. 磁致伸缩生物传感器

 

基本情况

主要从事基于MEMS技术的磁敏器件的研发以及应用研究。在国际著名学术期刊Sensors and Actuators B、Microchimica Acta、Biosensors and Bioelectronics、Biomedical Microdevices、Sensors、Analytical Methods、Applied Physics Letters已发表学术论文50余篇,引用超过700余次,申请中国发明专利1项,合著专著2部(章)。主持完成俄罗斯乌拉尔联邦大学博士后项目,河南省高层次人才海外培养项目,河南省自然科学基金面上项目,河南省留学人员科技择优资助项目等。目前主持在研广西科技人才专项项目1项,贵州航天计量测试技术研究所外协项目1项,企业横向项目1项,区教改项目2项,校级教改项目2项。作为核心成员参与欧盟2020地平线项目、国家自然科学基金面上,国家科技支撑计划项目,民用航天项目,航天支撑技术基金项目等10余项重大科研项目。担任Lab on a chip,Sensors and Actuators: B. Chemical,ACS applied materials & interface, Journal of Biotechnology, Nano Research,IEEE Sensors Letters,Analytical Biochemistry等期刊的审稿人。担任南方科技大学客座助理研究员,俄罗斯乌拉尔联邦大学客座副研究员,俄罗斯波罗的海联邦大学客座助理研究员。已培养硕士研究2名,海外指导研究生1名,博士1名。目前独立指导研究生8名。

硕士指导情况:

1. 王涣涣,2017级研究生,校级优秀硕士毕业生,硕士期间以第一作者在顶级期刊《Advanced materials》IF=27.398发表论文1篇,以第二作者(导师第一)发表中科院二区论文1篇,三区论文1篇。目前南开大学在读博士。

2. 张岩焱,2018级研究生,硕士期间以共同第一作者在《Advanced materials interface》IF=6.147发表中科院二区论文1篇,目前就职于江苏天合光能股份有限公司

3. Tiago Costa,葡萄牙里斯本微系统与纳米技术研究所INESC-MN,2019级研究生,在MagID项目中指导其硕士论文

博士指导情况:

1.  Sofifia Abrunhosa,葡萄牙里斯本微系统与纳米技术研究所INESC-MN,2019级博士,在MagID项目中指导其博士论文

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