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Litho Research Group

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Introduction to the laboratory

Litho Research Group

 

科研项目:

①2023.12 - 至今,浙江大学集成电路学院CMOS平台建设青年科研专项,光刻工艺关键问题研究,主持 

CMOS Platform Construction Program for Young Scholars,   College of Integrated Circuits, Zhejiang University

②2024.01 - 至今,浙江省自然科学基金联合基金项目,基于物理约束神经网络的先进光刻工艺窗口分析方法研究,主持

Joint Funds of the Natural Science Foundation of Zhejiang Province of China

③2024.01 - 至今,浙江省“尖兵领雁+X”研发攻关计划,人工智能辅助的集成电路成套工艺技术研发,参与

Zhejiang Provincial Jianbing Lingyan Research and Development Program of China 

 

研究条件:

浙江省集成电路创新平台拥有12吋光刻工艺相关的匀胶显影(Track)、曝光(Scanner)、光刻胶去胶、去胶后清洗、关键尺寸扫描电子显微镜、套刻误差量测、膜厚量测、全自动晶圆表面检测等机台。课题组已购置两台服务器,分别用于工艺仿真和机器学习。

 

推荐书籍:

韦亚一, 《超大规模集成电路先进光刻理论与应用》, 科学出版社, 2016.
伍强, 《衍射极限附近的光刻工艺》, 清华大学出版社, 2020.
吴汉明,《集成电路制造大生产工艺技术》,浙江大学出版社,2023.
贾新章等, 《统计过程控制理论与实践——SPC, Cpk, DOE, MSA, PPM 技术》,电子工业出版社,2017.
蒙哥马利(傅钰生等译),《实验设计与分析(第6版)》,人民邮电出版社,2009. 
韦恩·C·布斯等(何卫宁译),《研究是一门艺术(第4版)》,新华出版社,2019.  The Craft of Research

 

 

推荐视频:

光刻机 https://www.bilibili.com/video/BV1Hq4y1674k
CMOS 平面工艺 https://www.bilibili.com/video/BV1kg411W7gR
芯片简史 https://www.bilibili.com/video/BV1Ym4y1x733 
https://www.bilibili.com/video/BV1Xm4y157J6


推荐文章:

https://mp.weixin.qq.com/s/en2fYwje_QYXSKiRN79XSg
https://mp.weixin.qq.com/s/8vJiNHiOjO3G8S8eV8GjIQ

 

领域会议:

Conference of Science & Technology for Integrated Circuits (CSTIC)

 

推荐预学课程:

①文献检索:

《文献管理与信息分析》https://www.xuetangx.com/course/USTC12051000588/14768313

研究生读文献的原则与实操演示 https://www.bilibili.com/video/BV1Wp421m7ah/

如何吃透一篇文献 https://www.bilibili.com/video/BV1Yj421R7Bb/

如何做好文献阅读及笔记整理 https://www.bilibili.com/video/BV17W4y167SM/

②科研绘图:

Origin绘图 https://www.bilibili.com/video/BV1UR4y157aF/

③专利论文撰写:

•浙江大学图书馆专利申请与写作 https://www.bilibili.com/video/BV1X7411b7GN/

•手把手教你如何拥有自己的第一个专利 https://zhuanlan.zhihu.com/p/143851930

•SCI论文写作 https://www.bilibili.com/video/BV1rz4y1w7LB/

https://www.bilibili.com/video/BV1RK421e7nD

https://www.bilibili.com/video/BV1gZ421t7Kw

•大论文写作:https://www.bilibili.com/video/BV1bG4y117Ra

④仿真:

光学仿真

COMSOL Multiphysics、Ansys Lumerical、Python diffractio

黄奕勇等,《COMSOL多物理场仿真入门指南》,机械工业出版社,2021.

流体力学仿真

ANSYS Fluent或OpenFOAM

⑤编程:

Python:文件交互、数据可视化、神经网络(PyTorch)

https://www.icourse163.org/course/BIT-1001870002

https://mofanpy.com/tutorials/machine-learning/torch/

⑥实验设计

https://www.bilibili.com/video/BV1ao4y1C7Pp/

⑦其他

https://yu-haoran.github.io/Resources.html 

 

光刻研究小组

集成电路制造是高度学科交叉的领域,光刻中的匀胶、烘焙、曝光、显影等子工艺,和关键尺寸、套刻误差、缺陷等量测过程涉及流体力学、光学、光化学、计算机科学等学科。在真实产线上,制约制造能力的往往是对工艺机理的理解深度和对工艺过程和量测大数据的分析能力。课题组研究基于浙江省集成电路创新平台12吋产线,智能化制备和量测设备持续产生数据。课题组招生不限专业,本科时无任何微电子、集成电路等专业基础也可以开展研究生阶段的研究。匹配度最高的为数学、物理、光学和计算机等专业,或是对方程和编程有相关学习或研究经历。

如果你对集成电路制造中的光刻工艺感兴趣,如果你有数学(偏微分方程、大数据统计分析)、物理(物理模型)、光学(光学仿真)、算法(数值计算、PINN)的学习或研究经历,欢迎加入我们,一起研究挑战光刻工艺中的智能制造难题。

欢迎邮件沟通联系,如有需要可以与课题组学生交流了解学习环境和课题方向。申请联系时推荐陈述研究生阶段的规划和预期(建议500字以内,最关注,第一考虑因素),并鼓励提供两名推荐人的联系电话(包括老师和同学,无需推荐信)。欢迎提供在光刻工艺智能制造方向的文献调研和研究计划、简历(重点陈述与研究计划相关的详细研究经历/成果,可以是视频或PPT等方式)、成绩单等。

 

课题组导师简介

周国栋博士,2022年12月入职浙江大学杭州国际科创中心/集成电路学院,任科创百人计划研究员(求是科创学者),在浙江省集成电路创新平台从事先进光刻技术及集成电路智能制造研究,主要包括计算流体力学、计算光学、小样本机器学习等,以物理仿真、数值计算和机器学习等为研究途径,致力于厘清光刻各子工艺(包括量测过程)的物理机理,建立工艺模型,以提升光刻工艺智能化水平。已开展的研究包括光刻工艺窗口分析、光刻曝光对准标记模型、套刻误差标记设计、刻蚀偏差模型、虚拟匀胶等。

2014年本科毕业于华中科技大学光学与电子信息学院(现集成电路学院)集成电路设计与集成系统专业;2019年博士毕业于香港中文大学电子工程学系,期间曾两次获年度优秀助教奖,曾获港中大卓越研究奖学金支持赴哈佛医学院麻省总医院访学。博士及博士后期间主要研究方向为光电探测器器件机理及其生物医学应用。累计发表期刊论文24篇,会议论文6篇,其中以(共同)第一作者、(共同)通讯作者发表期刊论文3篇,会议论文3篇,谷歌学术引用超过1100次,h指数17。此外有3篇发明专利进入实质审查,有2篇发明专利受理。主持浙江省自然科学基金联合基金项目1项、浙江大学集成电路学院CMOS平台建设青年科研专项项目1项,参与浙江省“尖兵领雁+X”研发攻关计划1项。

主页:

gdzhou.com

联系方式:

gdzhou [at] zju [dot] edu [dot] cn

 

Lastly updated: 15-June-2024

 

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